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强流磁约束金属离子注入源

发布时间:2017/07/03
强流磁约束金属离子注入源

  设计和制造了适合工业应用的强流金属离子源。离子源的电弧阴、阳电极之间和放电室壁采用永磁体阵列形成导流、屏蔽磁场,改进了电弧的放电特性和提高等离子体密度。离子注入源在加速电压为30kV、50Hz条件时,平均束流流强度约为30mA,调试结果表明附加磁场提高了离子源性能。

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