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超高真空排气台设备

发布时间:2017/07/03
超高真空排气台设备

  1、主要用途:
  主要用于电真空器件的排气,提高电真空器件的质量。
  2、技术指标:
  系统极限真空度:≤5×10-8Pa;可以为双真空结构,也可以为外部烘箱结构,内部抽真空结构,加热温度及均温区尺寸根据用户要求进行设计制造;加热采用多段程序控温,便于用户调整烘烤除气的工艺,控温精度±2℃。
  3、系统组成:
  真空抽气系统、加热控温系统、烘箱(高加热温度500℃)或者外真空室(高加热温度800℃,根据内部器件耐温情况确定)、真空测量系统、电器控制系统等组成。
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