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真空热处理设备

发布时间:2017/07/03
真空热处理设备

  1、主要用途:
  用于各种金属材料或者薄膜的高温退火。
  2、技术指标:
  系统真空度:极限真空:5×10-6Pa;整个系统漏率小于1×10-7Pa·L/S工作真空:8×10-3Pa (1000℃退火温度下).程序控温,均温区尺寸根据用户要求设计)。
  工艺气体: H2或者其他非氧化性气体(也可不选)。
  3、系统组成:
  主要由真空抽气系统、真空测量系统、真空室、加热控温系统、电动升降系统、液氮冷阱、
  辅助系统等组成。
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